影响显微硬度计数值准确性的因素很多，但主要影响因素可划分为三个方面：

1、仪器误差，

2、试样材料的特征和加工方法，

3、实验条件和操作方法。

仪器误差的影响

仪器误差主要反映在负荷、压头与显微镜的精度：

（1）负荷的影响：主要因素为砝码重量超差，表现为锈蚀、损伤、表面镀层脱落等；负荷弹簧性能变化等；负荷作用力方向与试样不垂直，无损检测资源网这时会产生一个水平分力，使负荷减小；加荷机构上未被平衡的摩擦阻力，常常是由于机体安装水平未调整好，或者由于主轴导向机构不对中心所引起。

一般来讲，负荷值的误差与硬度值误差成正比，但方向相反。即当符合误差为±1%时，硬度值产生的误差为±1%。硬度误差还随负荷的降低而增高，所以在试验条件允许的情况下，应尽可能选用较大的负荷进行试验。

（2）压头的影响：压头的几何形状和其面角与横刃的公差应受技术条件规定的约束，否则均会对硬度值造成影响，但这决定与压头生产的厂家。压头的四个三角形工作面应光滑、平整和有良好的光洁度，有条件的单位应对新的压头进行检验。在使用过程中压头受到损伤，如顶角磨损、压头工作面上附着有油污或压头上粘滞着某些金属，会使压痕边缘粗糙和不规则，这些均会增大测量误差，影响示值精度。

（3）显微镜的精度：测微目镜的测量精度不够，会造成压痕对角线的测量误差，对显微硬度值的影响的计算公式与维氏相同，压痕对角线的误差会使硬度值的误差成倍增长，即硬度误差是压痕对角线误差的两倍。此外，物镜放大倍数的准确性也直接影响到硬度值的计算结果。因此，仪器应该定期进行校正，即检查和校正在高倍和低倍物镜下，测微目镜上每一小格的实际格值。

其他还应注意到数值孔径、照明条件、光学系统的质量等，这些均与获得准确的硬度数值有关。